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516-198阶差规

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简单介绍

516-198阶差规

产品描述


阶差规 查看详细尺寸点击我
516系列
特点:
l 阶差减小的高度从NO.1到NO.5。
l 相邻阶差校准的分辨率0.01μm,使用干涉仪的精度测量的线性偏差为±0.20μm
l 可选用钢制型和陶瓷型。
l 阶差规用于校准相邻高度的精度。
性能参数
公制型


货号
备注
516-198
钢制型(阶差:10μm/5μm/2μm/1μm
516-199
钢制型(阶差:300μm/100μm/50μm/20μm
516-498
陶瓷型(阶差:10μm/5μm/2μm/1μm
516-499
陶瓷型(阶差:300μm/100μm/50μm/20μm
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